يو ايڇ پي گيس پهچائڻ وارا نظام ايترا نازڪ ڇو آهن؟
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ - ايچنگ، سي وي ڊي، آئن امپلانٽيشن، ۽ ليٿوگرافي جهڙا عمل - پروسيس گيس انتهائي اعليٰ پاڪائي هجڻ گهرجن، عام طور تي 99.9999٪ (6N) يا اڃا به 99.99999٪ (7N). ايستائين جو ppb (حصا في ارب) يا ppt (حصا في ٽريلين) جي سطح تي آلودگي جو سراغ ڏيڻ - جهڙوڪ نمي يا آڪسيجن - گيٽ آڪسائيڊ پتلي ٿيڻ، ڌاتوئي خالي ٿيڻ، يا ويفرز تي شارٽ سرڪٽ جهڙن موتمار خرابين جو سبب بڻجي سگهي ٿو، ممڪن طور تي پوري لاٽ کي ختم ڪرڻ.
تنهن ڪري، يو ايڇ پي گيس پهچائڻ واري نظام جو مشن گيسن کي ذريعو کان پروسيس ٽول تائين پهچائڻ آهي بغير ڪنهن به پاڪائي جي گهٽتائي جي، هر نقطي تي آلودگي ۽ رساو کي روڪڻ.
اي پي ٽيوبنگ يو ايڇ پي سسٽم جي ريڙهه جي هڏي ڇو بڻجي ٿي؟
اي پي (اليڪٽروپولشڊ) ٽيوبنگ اسٽينلیس سٹیل مان ٺهيل آهي جيڪا اليڪٽرڪ ڪيميڪل پالشنگ جي عمل مان گذري ٿي، جنهن سان آئيني جهڙي اندروني سطح پيدا ٿئي ٿي. اهو ان کي يو ايڇ پي گيس جي ورڇ لاءِ ناگزير "شريان" بڻائي ٿو.
آخري صفائي - ذريعو تي روڪٿام
اي پي پروسيسنگ اندروني سطح جي خرابي (Ra) کي 0.13 µm - 0.25 µm يا ان کان به گهٽ ڪري ٿي. هي انتهائي هموار ختم خوردبيني دراڙن ۽ جذب جي جڳهن کي ختم ڪري ٿو، ذرڙن، ڌاتو آئنن، يا نمي کي چپڪائڻ لاءِ ڪا به جاءِ نه ڇڏي ٿو.
وڌايل سنکنرن جي مزاحمت - پاڪائي جي حفاظت
اليڪٽروپولشنگ قدم مٿاڇري جي نجاست کي ختم ڪري ٿو ۽ ڪروم آڪسائيڊ سان مالا مال هڪ غير فعال پرت ٺاهي ٿو، جيڪو Cl₂، CF₄، ۽ HCl جهڙن corrosive گيسن جي مزاحمت کي بهتر بڻائي ٿو. هي پائپ جي ڀت جي corrosion کي روڪي ٿو جيڪو ذرات يا آئوٽ گيس آلودگي پيدا ڪري سگهي ٿو.
بهتر وهڪري جي ڪارڪردگي ۽ تيز صفائي
هموار اندروني ڀت وهڪري جي مزاحمت کي گھٽائي ٿي ۽ سسٽم جي صفائي ۽ گئس جي متبادل کي تيز ڪري ٿي. تيز گئس سوئچنگ جي ضرورت واري عملن ۾، هي چڪر جي وقت کي گھٽائي ٿو ۽ فيب ٿرو پُٽ کي وڌائي ٿو.
پريميئم مواد - "ڪرائون" معيار
اعليٰ معيار جي اي پي ٽيوبنگ 316L وي آءِ ايم-وي اي آر (ويڪيوم انڊڪشن ميلٽنگ + ويڪيوم آرڪ ريميلٽنگ) اسٽينلیس سٹیل مان تيار ڪئي وئي آهي. هي ڊبل ميلٽ عمل بنيادي ڌاتو جي انتهائي بلڪ پاڪائي کي يقيني بڻائي ٿو، جيڪو اي پي جي آخري ڪارڪردگي حاصل ڪرڻ لاءِ بنيادي شرط آهي.
اهم ايپليڪيشن منظرنامو
•
بنيادي عمل- ايچنگ، سي وي ڊي، آئن امپلانٽيشن، ۽ لٿوگرافي لاءِ اعليٰ پاڪائي واري رد عمل واري گيسن جي ترسيل.
•
خاص گيسز- ٻرندڙ، زهريلي، يا corrosive گيسن جهڙوڪ SiH₄، PH₃، Cl₂، ۽ BCl₃ جو محفوظ هٿ ڪرڻ. انتهائي خطرناڪ گيسن لاءِ، ڊبل ڪنٽينمينٽ EP ٽيوبنگ اڪثر استعمال ڪئي ويندي آهي (گيس لاءِ اندروني ٽيوب، ليڪ مانيٽرنگ لاءِ ٻاهرئين جيڪٽ کي خالي ڪيو ويندو آهي يا نائٽروجن سان صاف ڪيو ويندو آهي).
•
نازڪ هارڊويئر- گئس ڊسٽريبيوشن پينلز (VMBs)، گئس ڪيبنٽ، ۽ پروسيس ٽول هڪ اپس ۾ استعمال ٿيندو آهي جتي الٽرا صاف اندروني سطحون لازمي هونديون آهن.
ٽيوبنگ کان ٻاهر: هڪ مڪمل UHP سسٽم لاءِ ٻيون ضروري شيون
مڪمل سالميت کي يقيني بڻائڻ لاءِ، سسٽم کي پڻ شامل ڪرڻ گهرجي:
•
مڪمل طور تي خودڪار مداري ويلڊنگ- ISO ڪلاس 5 (ڪلاس 100) يا بهتر صاف ڪمرن ۾ پرفارم ڪيو ويو، دستي ويلڊنگ جي فرق ۽ آلودگي جي خطرن کي ختم ڪندي.
•
آل-ميٽل فيس-سيل فٽنگس- جهڙوڪ VCR® يا W-سيل قسم، جيڪي صفر-ليڪ ڪارڪردگي لاءِ ڌاتو گيسڪٽ تي ڀاڙين ٿا.
•
سخت صفائي ۽ پيڪنگ- اي پي ٽيوب عام طور تي اعليٰ پاڪائي واري پاڻي سان صاف ڪيا ويندا آهن، خشڪ ڪيا ويندا آهن، ۽ نائٽروجن سان صاف ڪيا ويندا آهن ان کان اڳ جو ڪلين روم پيڪنگنگ ۾ ڊبل بيگ ڪيو ويندو آهي ته جيئن انسٽاليشن تائين انهن جي "جيئن موڪليو ويو" پاڪائي کي محفوظ رکيو وڃي.
اي پي ٽيوبنگ صرف هڪ پائپ ناهي - اهو سيمي ڪنڊڪٽر گيس پهچائڻ ۾ دفاع جي پهرين لائن آهي. ان جي انتهائي هموار مٿاڇري، اعليٰ سنکنرن جي مزاحمت، ۽ پريميئم مواد جي پاڪائي سڌو سنئون ويفر جي پيداوار، ڊوائيس جي اعتبار، ۽ مجموعي فيب منافعي تي اثر انداز ٿئي ٿي. ذيلي 5nm نوڊس ۽ هميشه سخت خرابي جي بجيٽ جي دنيا ۾، اي پي ٽيوبنگ اختياري ناهي - اهو بنيادي آهي.
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-05-2026