اليڪٽرانڪ انجنيئرنگ سسٽم ۾ اعليٰ پاڪائي واري گئس پائيپ لائينن جو استعمال

909 پروجيڪٽ تمام وڏي پيماني تي انٽيگريٽيڊ سرڪٽ فيڪٽري منهنجي ملڪ جي اليڪٽرانڪس انڊسٽري جو نائين پنج سالا منصوبي دوران هڪ وڏو تعميراتي منصوبو آهي جنهن ۾ 0.18 مائڪرون جي لائن ويڪر ۽ 200 ملي ميٽر جي قطر سان چپس تيار ڪيون وينديون آهن.

تمام وڏي پيماني تي مربوط سرڪٽ جي پيداوار جي ٽيڪنالاجي ۾ نه رڳو اعليٰ درستگي واريون ٽيڪنالاجيون شامل آهن جهڙوڪ مائڪرو مشيننگ، پر گئس جي پاڪائي تي پڻ اعليٰ گهرجون پوريون ڪري ٿي.
پروجيڪٽ 909 لاءِ بلڪ گيس سپلاءِ آمريڪا جي پراڪسير يوٽيلٽي گيس ڪمپني لميٽيڊ ۽ شنگھائي ۾ لاڳاپيل ڌرين جي وچ ۾ هڪ گڏيل منصوبي ذريعي فراهم ڪئي وئي آهي ته جيئن گڏيل طور تي هڪ گيس پيداوار پلانٽ قائم ڪري سگهجي. گيس پيداوار پلانٽ 909 پروجيڪٽ فيڪٽري بلڊنگ جي ڀرسان آهي، جيڪو تقريبن 15,000 چورس ميٽر جي ايراضيءَ تي پکڙيل آهي. مختلف گيسن جي پاڪائي ۽ پيداوار جون گهرجون

اعليٰ پاڪائي وارو نائٽروجن (PN2)، نائٽروجن (N2)، ۽ اعليٰ پاڪائي وارو آڪسيجن (PO2) هوا جي علحدگي ذريعي پيدا ٿين ٿا. اعليٰ پاڪائي وارو هائيڊروجن (PH2) اليڪٽرولائيزيشن ذريعي پيدا ٿئي ٿو. آرگن (Ar) ۽ هيليم (He) آئوٽ سورس ذريعي خريد ڪيا وڃن ٿا. ڪواسي گيس کي پراجيڪٽ 909 ۾ استعمال لاءِ صاف ۽ فلٽر ڪيو ويندو آهي. خاص گيس بوتلن ۾ فراهم ڪئي ويندي آهي، ۽ گيس بوتل ڪيبنٽ انٽيگريٽڊ سرڪٽ پروڊڪشن پلانٽ جي معاون ورڪشاپ ۾ واقع آهي.
ٻين گيسن ۾ صاف خشڪ ڪمپريسڊ ايئر سي ڊي اي سسٽم پڻ شامل آهي، جنهن جو استعمال جو مقدار 4185m3/h آهي، پريشر ڊيو پوائنٽ -70°C آهي، ۽ استعمال جي جاءِ تي گئس ۾ ذرڙي جي سائيز 0.01um کان وڌيڪ نه آهي. سانس وٺڻ وارو ڪمپريسڊ ايئر (BA) سسٽم، استعمال جو مقدار 90m3/h، پريشر ڊيو پوائنٽ 2℃، استعمال جي جاءِ تي گئس ۾ ذرڙي جي سائيز 0.3um کان وڌيڪ نه آهي، پروسيس ويڪيوم (PV) سسٽم، استعمال جو مقدار 582m3/h، استعمال جي جاءِ تي ويڪيوم ڊگري -79993Pa. صفائي ويڪيوم (HV) سسٽم، استعمال جو مقدار 1440m3/h، استعمال جي جاءِ تي ويڪيوم ڊگري -59995 Pa. ايئر ڪمپريسر روم ۽ ويڪيوم پمپ روم ٻئي 909 پروجيڪٽ فيڪٽري ايريا ۾ واقع آهن.

پائپ مواد ۽ لوازمات جو انتخاب
VLSI جي پيداوار ۾ استعمال ٿيندڙ گئس جي صفائي جون گهرجون انتهائي اعليٰ آهن.اعليٰ صفائي واري گئس پائيپ لائينونعام طور تي صاف پيداواري ماحول ۾ استعمال ٿيندا آهن، ۽ انهن جي صفائي جو ڪنٽرول استعمال ۾ جڳهه جي صفائي جي سطح سان مطابقت يا ان کان وڌيڪ هجڻ گهرجي! ان کان علاوه، صاف پيداواري ماحول ۾ اڪثر ڪري اعليٰ پاڪائي واري گئس پائيپ لائينون استعمال ٿينديون آهن. خالص هائيڊروجن (PH2)، اعليٰ پاڪائي واري آڪسيجن (PO2) ۽ ڪجهه خاص گيسون ٻرندڙ، ڌماڪيدار، ٻرندڙ يا زهريلي گيسون آهن. جيڪڏهن گئس پائپ لائن سسٽم غلط طريقي سان ٺاهيو ويو آهي يا مواد غلط طريقي سان چونڊيو ويو آهي، ته نه رڳو گئس پوائنٽ تي استعمال ٿيندڙ گئس جي پاڪائي گهٽجي ويندي، پر اهو ناڪام به ٿيندو. اهو عمل جي گهرجن کي پورو ڪري ٿو، پر اهو استعمال ڪرڻ لاءِ غير محفوظ آهي ۽ صاف ڪارخاني ۾ آلودگي جو سبب بڻجندو، صاف ڪارخاني جي حفاظت ۽ صفائي کي متاثر ڪندو.
استعمال جي جاءِ تي اعليٰ صفائي واري گئس جي معيار جي ضمانت نه رڳو گئس جي پيداوار، صفائي جي سامان ۽ فلٽرن جي درستگي تي منحصر آهي، پر پائپ لائن سسٽم ۾ ڪيترن ئي عنصرن کان پڻ وڏي حد تائين متاثر ٿئي ٿي. جيڪڏهن اسان گئس جي پيداوار جي سامان، صفائي جي سامان ۽ فلٽرن تي ڀروسو ڪريون ٿا ته اهو غلط گئس پائپنگ سسٽم جي ڊيزائن يا مواد جي چونڊ جي تلافي لاءِ لامحدود طور تي اعليٰ درستگي جون گهرجون لاڳو ڪرڻ غلط آهي.
909 پروجيڪٽ جي ڊيزائن جي عمل دوران، اسان "صاف ٻوٽن جي ڊيزائن لاءِ ڪوڊ" GBJ73-84 (موجوده معيار (GB50073-2001) آهي)، "ڪمپريسڊ ايئر اسٽيشنن جي ڊيزائن لاءِ ڪوڊ" GBJ29-90، "آڪسيجن اسٽيشنن جي ڊيزائن لاءِ ڪوڊ" GB50030-91، "هائيڊروجن ۽ آڪسيجن اسٽيشنن جي ڊيزائن لاءِ ڪوڊ" GB50177-93، ۽ پائپ لائن مواد ۽ لوازمات جي چونڊ لاءِ لاڳاپيل ٽيڪنيڪل قدمن تي عمل ڪيو. "صاف ٻوٽن جي ڊيزائن لاءِ ڪوڊ" پائپ لائن مواد ۽ والوز جي چونڊ کي هن ريت بيان ڪري ٿو:

(1) جيڪڏهن گئس جي پاڪائي 99.999% کان وڌيڪ يا ان جي برابر آهي ۽ اوس پوائنٽ -76°C کان گهٽ آهي، ته 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس اسٽيل پائپ (316L) اليڪٽروپولش ٿيل اندروني ڀت سان يا OCr18Ni9 اسٽينلیس اسٽيل پائپ (304) اليڪٽروپولش ٿيل اندروني ڀت سان استعمال ڪيو وڃي. والو هڪ ڊايافرام والو يا بيلوز والو هجڻ گهرجي.

(2) جيڪڏهن گئس جي پاڪائي 99.99٪ کان وڌيڪ يا ان جي برابر آهي ۽ اوس پوائنٽ -60 ° C کان گهٽ آهي، ته پوءِ اليڪٽروپولش ٿيل اندروني ڀت سان OCr18Ni9 اسٽينلیس اسٽيل ٽيوب (304) استعمال ڪرڻ گهرجي. سواءِ ٻلو والوز جي جيڪي ٻرندڙ گئس پائيپ لائينن لاءِ استعمال ٿيڻ گهرجن، ٻين گئس پائيپ لائينن لاءِ بال والوز استعمال ڪرڻ گهرجن.

(3) جيڪڏهن خشڪ دٻيل هوا جو اوس پوائنٽ -70°C کان گهٽ آهي، ته پوءِ پالش ٿيل اندروني ڀت سان OCr18Ni9 اسٽينلیس اسٽيل پائپ (304) استعمال ڪيو وڃي. جيڪڏهن اوس پوائنٽ -40℃ کان گهٽ آهي، ته پوءِ OCr18Ni9 اسٽينلیس اسٽيل پائپ (304) يا هاٽ-ڊپ گيلوانائيزڊ سيمليس اسٽيل پائپ استعمال ڪيو وڃي. والو هڪ بيلوز والو يا بال والو هجڻ گهرجي.

(4) والو جو مواد ڳنڍڻ واري پائپ جي مواد سان مطابقت رکندڙ هجڻ گهرجي.

وضاحتن ۽ لاڳاپيل ٽيڪنيڪل قدمن جي گهرجن مطابق، اسان پائپ لائن مواد جي چونڊ ڪرڻ وقت بنيادي طور تي هيٺين پهلوئن تي غور ڪندا آهيون:

(1) پائپ جي مواد جي هوا جي پارگميتا ننڍي هجڻ گهرجي. مختلف مواد جي پائپن ۾ مختلف هوا جي پارگميتا هوندي آهي. جيڪڏهن وڌيڪ هوا جي پارگميتا وارا پائپ چونڊيا وڃن، ته آلودگي ختم نه ٿي سگهي. اسٽينلیس سٹیل جا پائپ ۽ ڪاپر پائپ فضا ۾ آڪسيجن جي دخول ۽ سنکنرن کي روڪڻ ۾ بهتر آهن. جڏهن ته، جيئن ته اسٽينلیس سٹیل جا پائپ ٽامي جي پائپن کان گهٽ سرگرم هوندا آهن، تانبا جا پائپ فضا ۾ نمي کي انهن جي اندروني سطحن ۾ داخل ٿيڻ جي اجازت ڏيڻ ۾ وڌيڪ سرگرم هوندا آهن. تنهن ڪري، جڏهن اعليٰ پاڪائي واري گئس پائپ لائنن لاءِ پائپ چونڊيندا آهيو، ته اسٽينلیس سٹیل جا پائپ پهرين پسند هجڻ گهرجن.

(2) پائپ جي مواد جي اندروني سطح جذب ٿيل آهي ۽ گئس جي تجزيي تي ٿورو اثر پوي ٿي. اسٽينلیس سٹیل پائپ جي پروسيسنگ کان پوءِ، گئس جي هڪ خاص مقدار ان جي ڌاتو جي جالي ۾ برقرار رهندي. جڏهن اعليٰ پاڪائي واري گئس گذري ٿي، ته گئس جو هي حصو هوا جي وهڪري ۾ داخل ٿيندو ۽ آلودگي جو سبب بڻجندو. ساڳئي وقت، جذب ۽ تجزيي جي ڪري، پائپ جي اندروني سطح تي ڌاتو پڻ هڪ خاص مقدار ۾ پائوڊر پيدا ڪندو، جيڪو اعليٰ پاڪائي واري گئس کي آلودگي جو سبب بڻجندو. 99.999٪ يا ppb سطح کان مٿي پاڪائي واري پائپنگ سسٽم لاءِ، 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربان اسٽينلیس سٹیل پائپ (316L) استعمال ڪيو وڃي.

(3) اسٽينلیس سٹیل جي پائپن جي لباس مزاحمت ٽامي جي پائپن جي ڀيٽ ۾ بهتر آهي، ۽ هوا جي وهڪري جي ڪٽائي مان پيدا ٿيندڙ ڌاتو جي مٽي نسبتاً گهٽ آهي. صفائي لاءِ وڌيڪ گهرجن سان پيداوار ورڪشاپ 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس سٹیل پائپ (316L) يا OCr18Ni9 اسٽينلیس سٹیل پائپ (304) استعمال ڪري سگهن ٿيون، ٽامي پائپ استعمال نه ڪيا وڃن.

(4) 99.999٪ کان مٿي گئس جي پاڪائي يا پي پي بي يا پي پي ٽي ليول سان پائپنگ سسٽم لاءِ، يا صاف ڪمرن ۾ هوا جي صفائي جي ليول N1-N6 سان جيڪي "ڪلين فيڪٽري ڊيزائن ڪوڊ" ۾ بيان ڪيا ويا آهن، الٽرا ڪلين پائپ يااي پي الٽرا ڪلين پائپاستعمال ڪرڻ گهرجي. "صاف ٽيوب کي انتهائي هموار اندروني سطح سان" صاف ڪريو.

(5) پيداوار جي عمل ۾ استعمال ٿيندڙ ڪجهه خاص گئس پائيپ لائين سسٽم انتهائي خراب ڪندڙ گئسون آهن. انهن پائپ لائن سسٽم ۾ پائپن کي سنکنرن جي مزاحمتي اسٽينلیس اسٽيل پائپن کي پائپ طور استعمال ڪرڻ گهرجي. ٻي صورت ۾، پائپ سنکنرن جي ڪري خراب ٿي ويندا. جيڪڏهن مٿاڇري تي سنکنرن جا داغ ٿين ٿا، ته عام سيمينٽ اسٽيل پائپ يا گيلوانائيز ويلڊڊ اسٽيل پائپ استعمال نه ڪيا ويندا.

(6) اصولي طور تي، سڀني گئس پائيپ لائين ڪنيڪشن کي ويلڊنگ ڪرڻ گهرجي. جيئن ته گيلوانائيز اسٽيل پائپن جي ويلڊنگ گيلوانائيز پرت کي تباهه ڪري ڇڏيندي، صاف ڪمرن ۾ پائپن لاءِ گيلوانائيز اسٽيل پائپ استعمال نه ڪيا ويندا آهن.

مٿين عنصرن کي نظر ۾ رکندي، &7& منصوبي ۾ چونڊيل گئس پائيپ لائين پائپ ۽ والوز هن ريت آهن:

اعليٰ پاڪائي واري نائٽروجن (PN2) سسٽم پائپ 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس اسٽيل پائپ (316L) مان ٺهيل آهن جن جي اندروني ڀتين کي اليڪٽروپولش ڪيو ويو آهي، ۽ والوز ساڳئي مواد جي اسٽينلیس اسٽيل بيلوز والوز مان ٺهيل آهن.
نائٽروجن (N2) سسٽم پائپ 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس اسٽيل پائپ (316L) مان ٺهيل آهن جن جي اندروني ڀتين کي اليڪٽروپولش ڪيو ويو آهي، ۽ والوز ساڳئي مواد جي اسٽينلیس اسٽيل بيلوز والوز مان ٺهيل آهن.
اعليٰ پاڪائي وارا هائيڊروجن (PH2) سسٽم پائپ 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس اسٽيل پائپ (316L) مان ٺهيل آهن جن جي اندروني ڀتين کي اليڪٽروپولش ڪيو ويو آهي، ۽ والوز ساڳئي مواد جي اسٽينلیس اسٽيل بيلوز والوز مان ٺهيل آهن.
اعليٰ پاڪائي واري آڪسيجن (PO2) سسٽم پائپ 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس اسٽيل پائپ (316L) مان ٺهيل آهن جن ۾ اليڪٽرو پالش ٿيل اندروني ڀتيون آهن، ۽ والوز ساڳئي مواد جي اسٽينلیس اسٽيل بيلوز والوز مان ٺهيل آهن.
آرگن (Ar) سسٽم پائپ 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس اسٽيل پائپ (316L) مان ٺهيل آهن جن جي اندروني ڀتين کي اليڪٽروپولش ڪيو ويو آهي، ۽ ساڳئي مواد جا اسٽينلیس اسٽيل بيلوز والوز استعمال ڪيا ويا آهن.
هيليم (هي) سسٽم پائپ 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس اسٽيل پائپ (316L) مان ٺهيل آهن جن جي اندروني ڀتين کي اليڪٽروپولش ڪيو ويو آهي، ۽ والوز ساڳئي مواد جي اسٽينلیس اسٽيل بيلوز والوز مان ٺهيل آهن.
صاف خشڪ ڪمپريسڊ ايئر (سي ڊي اي) سسٽم پائپ OCr18Ni9 اسٽينلیس اسٽيل پائپ (304) مان ٺهيل آهن جن جي اندروني ڀتين کي پالش ڪيو ويو آهي، ۽ والوز ساڳئي مواد جي اسٽينلیس اسٽيل بيلوز والوز مان ٺهيل آهن.
سانس وٺندڙ ڪمپريسڊ ايئر (BA) سسٽم پائپ OCr18Ni9 اسٽينلیس اسٽيل پائپ (304) مان ٺهيل آهن جن جي اندروني ڀتين کي پالش ڪيو ويو آهي، ۽ والوز ساڳئي مواد جي اسٽينلیس اسٽيل بال والوز مان ٺهيل آهن.
پروسيس ويڪيوم (PV) سسٽم پائپ UPVC پائپن مان ٺهيل آهن، ۽ والوز ساڳئي مواد مان ٺهيل ويڪيوم بٽر فلائي والوز مان ٺهيل آهن.
صفائي ويڪيوم (HV) سسٽم پائپ UPVC پائپن مان ٺهيل آهن، ۽ والوز ساڳئي مواد مان ٺهيل ويڪيوم بٽر فلائي والوز مان ٺهيل آهن.
خاص گئس سسٽم جا سڀئي پائپ 00Cr17Ni12Mo2Ti گهٽ ڪاربن اسٽينلیس اسٽيل پائپ (316L) مان ٺهيل آهن جن جي اندروني ڀتين کي اليڪٽروپولش ڪيو ويو آهي، ۽ والوز ساڳئي مواد جي اسٽينلیس اسٽيل بيلوز والوز مان ٺهيل آهن.

3 پائپ لائنن جي تعمير ۽ تنصيب
3.1 "صاف فيڪٽري بلڊنگ ڊيزائن ڪوڊ" جو سيڪشن 8.3 پائپ لائن ڪنيڪشن لاءِ هيٺيون شرطون بيان ڪري ٿو:
(1) پائپ ڪنيڪشن ويلڊنگ هجڻ گهرجن، پر گرم-ڊپ گيلوانائيز اسٽيل پائپ ٿريڊ ٿيل هجڻ گهرجن. ٿريڊ ڪنيڪشن جو سيلنگ مواد هن وضاحت جي آرٽيڪل 8.3.3 جي گهرجن جي تعميل ڪندو.
(2) اسٽينلیس سٹیل جي پائپن کي آرگن آرڪ ويلڊنگ ۽ بٽ ويلڊنگ يا ساڪٽ ويلڊنگ ذريعي ڳنڍڻ گهرجي، پر اعليٰ پاڪائي واري گئس پائيپ لائينن کي بٽ ويلڊنگ ذريعي ڳنڍڻ گهرجي بغير اندروني ڀت تي نشانن جي.
(3) پائپ لائنن ۽ سامان جي وچ ۾ ڪنيڪشن سامان جي ڪنيڪشن گهرجن جي تعميل ڪرڻ گهرجي. هوز ڪنيڪشن استعمال ڪرڻ وقت، ڌاتو هوز استعمال ڪرڻ گهرجن.
(4) پائپ لائنن ۽ والوز جي وچ ۾ ڪنيڪشن هيٺ ڏنل ضابطن جي تعميل ڪرڻ گهرجي

① اعليٰ پاڪائي واري گئس پائيپ لائينن ۽ والوز کي ڳنڍيندڙ سيلنگ مواد کي پيداوار جي عمل ۽ گئس جي خاصيتن جي گهرجن مطابق ڌاتو گيسڪٽ يا ڊبل فيرول استعمال ڪرڻ گهرجن.
②ٿريڊ يا فلانج ڪنيڪشن تي سيلنگ مواد پولي ٽيٽرافلووروٿيلين هجڻ گهرجي.
3.2 وضاحتن ۽ لاڳاپيل ٽيڪنيڪل قدمن جي گهرجن مطابق، اعليٰ پاڪائي واري گئس پائيپ لائينن جي ڪنيڪشن کي ممڪن حد تائين ويلڊنگ ڪيو وڃي. ويلڊنگ دوران سڌي بٽ ويلڊنگ کان پاسو ڪيو وڃي. پائپ جي آستين يا تيار ٿيل جوڑوں کي استعمال ڪيو وڃي. پائپ جي آستين کي پائپن جي برابر مواد ۽ اندروني سطح جي همواريءَ مان ٺاهيو وڃي. ويلڊنگ دوران، ويلڊنگ واري حصي جي آڪسائيڊشن کي روڪڻ لاءِ، خالص حفاظتي گئس ويلڊنگ پائپ ۾ داخل ڪئي وڃي. اسٽينلیس سٹیل جي پائپن لاءِ، آرگن آرڪ ويلڊنگ استعمال ڪئي وڃي، ۽ ساڳئي پاڪائي واري آرگن گئس پائپ ۾ داخل ڪئي وڃي. ٿريڊڊ ڪنيڪشن يا ٿريڊڊ ڪنيڪشن استعمال ڪيو وڃي. فلانجز کي ڳنڍڻ وقت، ٿريڊڊ ڪنيڪشن لاءِ فيرولز استعمال ڪيا وڃن. آڪسيجن پائپن ۽ هائيڊروجن پائپن کان سواءِ، جيڪي ڌاتو گيسڪٽ استعمال ڪن، ٻين پائپن کي پولي ٽيٽرافلوروٿيلين گيسڪٽ استعمال ڪرڻ گهرجن. گيسڪٽس تي ٿوري مقدار ۾ سلڪون ربر لڳائڻ پڻ اثرائتو ٿيندو. سيلنگ اثر کي وڌايو. فلانج ڪنيڪشن ٺاهڻ وقت ساڳيا قدم کنيا وڃن.
انسٽاليشن جو ڪم شروع ٿيڻ کان اڳ، پائپن جو تفصيلي بصري معائنو،سامان، والوز وغيره کي ضرور ڪيو وڃي. عام اسٽينلیس سٹیل جي پائپن جي اندروني ڀت کي انسٽاليشن کان اڳ پڪل ڪيو وڃي. آڪسيجن پائپ لائنن جي پائپن، فٽنگن، والوز وغيره کي تيل کان سختي سان منع ڪيو وڃي، ۽ انسٽاليشن کان اڳ لاڳاپيل گهرجن مطابق سختي سان گهٽايو وڃي.
سسٽم کي انسٽال ڪرڻ ۽ استعمال ۾ آڻڻ کان اڳ، ٽرانسميشن ۽ ڊسٽريبيوشن پائپ لائن سسٽم کي مڪمل طور تي پهچائڻ واري اعليٰ پاڪائي واري گئس سان صاف ڪيو وڃي. اهو نه رڳو مٽي جي ذرڙن کي اڏائي ٿو جيڪي انسٽاليشن جي عمل دوران حادثاتي طور تي سسٽم ۾ ڪري پيا، پر پائپ لائن سسٽم ۾ خشڪ ڪرڻ جو ڪردار پڻ ادا ڪري ٿو، پائپ جي ڀت ۽ حتي پائپ جي مواد ذريعي جذب ٿيل نمي تي مشتمل گئس جو حصو هٽائي ٿو.

4. پائپ لائن پريشر ٽيسٽ ۽ قبوليت
(1) سسٽم جي انسٽال ٿيڻ کان پوءِ، خاص گئس پائيپ لائينن ۾ انتهائي زهريلا مايع منتقل ڪندڙ پائپن جو 100٪ ريڊيوگرافڪ معائنو ڪيو ويندو، ۽ انهن جو معيار ليول II کان گهٽ نه هوندو. ٻيا پائپ نموني جي ريڊيوگرافڪ معائني جي تابع هوندا، ۽ نموني جي چڪاس جو تناسب 5٪ کان گهٽ نه هوندو، معيار گريڊ III کان گهٽ نه هوندو.
(2) غير تباهي ڪندڙ معائنو پاس ڪرڻ کان پوءِ، هڪ پريشر ٽيسٽ ڪيو وڃي. پائپنگ سسٽم جي خشڪي ۽ صفائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ، هڪ هائيڊروولڪ پريشر ٽيسٽ نه ڪيو وڃي، پر هڪ نيوميٽڪ پريشر ٽيسٽ استعمال ڪيو وڃي. هوا جي دٻاءُ جو امتحان نائيٽروجن يا دٻيل هوا استعمال ڪندي ڪيو وڃي جيڪو صاف ڪمري جي صفائي جي سطح سان ملندو آهي. پائپ لائن جو ٽيسٽ پريشر ڊيزائن پريشر کان 1.15 ڀيرا 1.15 ڀيرا هجڻ گهرجي، ۽ ويڪيوم پائپ لائن جو ٽيسٽ پريشر 0.2MPa هجڻ گهرجي. ٽيسٽ دوران، دٻاءُ بتدريج ۽ آهستي آهستي وڌائڻ گهرجي. جڏهن دٻاءُ ٽيسٽ پريشر جي 50٪ تائين وڌي وڃي، جيڪڏهن ڪا غير معمولي يا رساو نه ملي، ته ٽيسٽ پريشر جي 10٪ تائين قدم قدم تي دٻاءُ وڌائڻ جاري رکو، ۽ هر سطح تي 3 منٽن لاءِ دٻاءُ کي مستحڪم ڪريو جيستائين ٽيسٽ پريشر نه ٿئي. 10 منٽن لاءِ دٻاءُ کي مستحڪم ڪريو، پوءِ دٻاءُ کي ڊيزائن پريشر تائين گھٽايو. دٻاءُ بند ٿيڻ جو وقت ليڪ جي ڳولا جي ضرورتن مطابق طئي ڪيو وڃي. جيڪڏهن ڪو به رساو نه هجي ته فومنگ ايجنٽ قابليت رکي ٿو.
(3) ويڪيوم سسٽم جي پريشر ٽيسٽ پاس ڪرڻ کان پوءِ، ان کي ڊيزائن دستاويزن مطابق 24 ڪلاڪ ويڪيوم ڊگري ٽيسٽ پڻ ڪرڻ گهرجي، ۽ پريشر جي شرح 5٪ کان وڌيڪ نه هجڻ گهرجي.
(4) ليڪيج ٽيسٽ. پي پي بي ۽ پي پي ٽي گريڊ پائپ لائن سسٽم لاءِ، لاڳاپيل وضاحتن جي مطابق، ڪنهن به ليڪيج کي قابليت وارو نه سمجهيو وڃي، پر ليڪيج جي مقدار جو ٽيسٽ ڊيزائن دوران استعمال ڪيو ويندو آهي، يعني، ليڪيج جي مقدار جو ٽيسٽ ايئر ٽائيٽنيس ٽيسٽ کان پوءِ ڪيو ويندو آهي. دٻاءُ ڪم ڪندڙ دٻاءُ آهي، ۽ دٻاءُ 24 ڪلاڪن لاءِ بند ڪيو ويندو آهي. سراسري ڪلاڪ جو ليڪيج قابليت وارو 50ppm کان گهٽ يا برابر آهي. ليڪيج جو حساب هن ريت آهي:
الف = (1-P2T1/P1T2)*100/ٽي
فارمولا ۾:
هڪ ڪلاڪ جي رساو (٪)
P1 - ٽيسٽ جي شروعات ۾ مطلق دٻاءُ (Pa)
P2 - ٽيسٽ جي آخر ۾ مطلق دٻاءُ (Pa)
ٽيسٽ جي شروعات ۾ T1-مطلق درجه حرارت (K)
ٽيسٽ جي آخر ۾ T2-مطلق درجه حرارت (K)